用于传感器和光电子学的微机电系统谢菲尔德大学从事微机电系统研究的科研人员已经成功地开发出了一些引人注目的器件以及同样引人注目的制作技术。微机电系统的成功包括设计和制作导航用传感器即陀螺和磁力仪。陀螺基于一个转动的微型电感电机，其内部有一个比较高角速度运转的电磁悬浮铝盘，预计其最大的速度可以超过１００万rpm，并且这种陀螺的灵敏度至少要比现在生产制作的微型陀螺大一个数量级。磁门磁力便集成在同一单元，对于开发的可靠导航用传感器来说非常重要。微光机系统主要是从微米级机械、光学和电子学三个方面发展起来的。最近谢菲尔德大学的微机电系统研究小组成功地开发出了集成太空光学系统用的微机械三维光学元件。利用表面微机械加工技术，有可能开发出可调谐的谐振腔发光二极管，光电探测器以及表面发射激光器。这些可调的集成器件在许多应用如打印头／扫描仪、投影显示、光计算与存储及光通信方面具有优势。